Подведены итоги ежегодного отраслевого конкурса предложений по улучшению (ППУ) и ПСР-проектов. ППУ специалистов филиала РФЯЦ-ВНИИЭФ – НИИИС им. Ю.Е. Седакова вошло в тройку лидеров.

В номинации «Эффективность использования ресурсов» одним из лучших признано ППУ «Внедрение технологии отмывки использованной оснастки». Эффективность внедрения технологии позволила снизить затраты до 4 млн 436 тыс. в год.

Авторами являются специалисты подразделения микроэлектроники – начальник группы Андрей Шишкин, инженер-электроник 1-й категории Сергей Мочалов и ведущий инженер-электроник Александр Чуланов (на снимке). В НИИИС технология отмывки оснастки применяется с 2021 года, ее целесообразность подтверждается хорошими результатами.

Суть ППУ состоит в следующем. В технологии изготовления пластин с кристаллами сверхбольших интегральных схем (СБИС) широко применяется оборудование для напыления металлизации. В процессе операции напыление происходит не только на заготовку (пластину), но и на технологическую оснастку. С ростом толщины напыленной пленки требуется замена технологической оснастки (3-4 раза в год), чтобы избежать брака при изготовлении пластин.

В современных условиях существенно возросли стоимость и сроки поставки оснастки. Новые реалии заставили задуматься о повторном ее использовании после отмывки. Специалисты НИИИС разработали соответствующую технологию отмывки с использованием имеющегося оборудования и химических реактивов на технологической линии изготовления пластин с кристаллами СБИС.

Пресс-центр РФЯЦ-ВНИИЭФ